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热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

电离真空计的工作原理？答：利用电子对气体的碰撞产生电离作用，而电离的效果是与气体压力有关的。当电子电流一定时，电离形成的离子流正比于压力，故通过离子流间接测量气体的压力。

什么是电离真空计的外控接法？有何好处？答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可显著提高测量的灵敏度。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化，充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害，准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器，伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边，根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位，进而完成宽标准的动态性压力测量。

inficon感应器具备微型化、成本低、性能、易与CMOS电子器件兼容等特性。在差异种类的inficon感应器中，很广泛、运用很普遍的是压阻式和电容式传感器。与压阻式感应器对比，电容式传感器具备敏感度高、温度指数低、功能损耗劣等优势。inficon电容器塑料薄膜真空计做为inficon电容式传感器的一种，可以达到深空探测、流体力学科学研究、临近空间探寻等方面对真空测量仪器测量准确度高、体型小、品质轻、功能损耗低的使用要求，具备普遍的应用前景。

inficon电容器塑料薄膜真空计包括真空泵规管和检测电源电路2个一部分。在其中，真空泵规管将真空值转换成容量，准确测量电源电路对容量开展解决获得真空值的值。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管原始容量的标准为几到几十皮法，其电容器变化量为几飞法乃至更小。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的比较敏感电容器具备不一样构造，包含一侧电级构造、双侧电级构造及其静电力均衡构造，不一样构造的比较敏感电容器其电容变化量不一样。

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